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旋轉(zhuǎn)靶材
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  旋轉(zhuǎn)靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的,里面裝有靜止不動(dòng)的磁體,以慢速轉(zhuǎn)動(dòng)。


  濺射靶材用于磁控濺射鍍膜,濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜(PVD)方式。


  在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。


  濺射鍍膜的主要應(yīng)用于:平板顯示器、鍍膜玻璃工業(yè)(主要包括建筑玻璃、汽車玻璃、光學(xué)薄膜玻璃等)、薄膜太陽能、表面工程(裝飾&工具)、(磁、光)記錄介質(zhì)、微電子、汽車車燈、裝飾鍍膜等


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